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    金屬薄膜和陶瓷厚膜傳感器材質工藝穩定性怎么樣?

    發表時間:2021-06-23 18:12【 閱讀量:-查看手機網址
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      金屬薄膜和陶瓷厚膜傳感器的區別

      

      金屬薄膜傳感器

      

      金屬薄膜傳感器的主體和膜片通常由不銹鋼制成。通過在自動精密車床上加工隔膜,然后研磨、拋光和研磨,可以制造出所需的材料厚度。在隔膜的不與介質接觸的一側,絕緣層、應變儀、補償電阻器和導電路徑,通過化學(化學氣相沉積)和物理(PVD)工藝的組合來施加,并且通過使用蝕刻的光刻來構造。

      

      這些過程是在潔凈室和特殊工廠中進行的,有些部分是在真空或惰性氣氛中進行的,從而可以生產出高原子純度的結構。傳感器上制作的電阻和導電路徑明顯小于微米,因此被稱為薄膜電阻。

      

      由于使用的材料,金屬薄膜傳感器非常穩定。此外,它還能抵抗沖擊和振動載荷以及動壓元件。因為使用的材料是可焊接的,所以傳感器可以焊接到壓力連接-氣密密封上,而不需要任何額外的密封材料。由于材料的延展性,傳感器的超壓范圍相對較低,但爆破壓力很高。

      

      陶瓷厚膜傳感器

      

      陶瓷厚膜傳感器的主體和膜片由陶瓷制成。氧化鋁(Al2O3)因其穩定性和良好的加工性能而得到廣泛應用。四個應變計通過絲網印刷工藝以厚膜膏的形式涂覆在隔膜不與壓力介質接觸的一側,然后高溫燒制,用保護涂層鈍化。絲網印刷和老化過程中不允許有雜質。因此,制造通常在潔凈室進行。只有領先的制造商才能以適當的隔離操作他們的工廠,以避免任何交叉污染,從而保持高工藝穩定性

      

      用于傳感器的陶瓷非常耐腐蝕。然而,將傳感器安裝到壓力測量儀器外殼中需要額外的壓力連接密封,該密封不能抵抗所有介質。另外陶瓷比較脆,所以爆破壓力比金屬薄膜傳感器低。

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