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    壓阻式壓力傳感器靈敏度大大改善線性誤差

    發表時間:2022-03-01 18:34【 閱讀量:-查看手機網址
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      壓阻式壓力傳感器因其高靈敏度而脫穎而出。同樣在精度和小型化方面,與其他測量儀器相比,具有許多優勢。壓阻式壓力傳感器的用戶期望線性壓力響應,其中輸出信號與施加的壓力成比例。因此,壓力信號圖的曲線應該是一條直線,其起點由零位表示,其靈敏度由梯度表示。然而,壓力信號曲線的真實形狀或多或少總是顯示出與理想線的急劇偏差。這種差異被稱為壓力傳感器的線性誤差。另一方面,曲線的梯度對應于它的靈敏度。

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      從圖中我們可以看出,當傳感器以較低的靈敏度(大約為標稱芯片壓力的70%)使用時,曲線的幾乎線性部分被利用。通過選擇,變送器可以構建為具有非常低的非線性(想想0.05%FS)。然而,前提是工作范圍位于芯片的線性部分內。


      壓阻式壓力傳感器的靈敏度:


      壓力傳感器的靈敏度很大程度上取決于兩個因素:


      1.擴散半導體電阻器的電阻值及其壓阻有效性水平,


      2.硅膜片的厚度。


      對壓力響應影響最大的是硅膜片的厚度。這是由其機械、化學甚至組合處理來定義的。這些過程無法如此精確地控制,以至于所有壓力測量單元都表現出完全相同的靈敏度。因此建立了壓力傳感器可用于特定壓力范圍的類別。在這些類別中,靈敏度可以變化約±20%。這種偏差本身可以通過供電電流或放大系數(校準)在電子設備中進行補償。

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